Accurion RSE光譜型參比橢偏儀

光譜型參比橢偏儀（RSE）, 設計用于質量控制中的高速厚度mapping。它可以精準測量0.1 nm至10µm的厚度。每秒記錄200個完整的光譜，可以在12分鐘內研究100mmx 100mm的區域，并同時獲得67000個光譜。
參考光譜橢偏儀薄膜和表面的快速檢測

RSE是一種特殊類型的橢偏儀，它通過將參考樣品和被測樣品進行比較，測量它們之間的差異從而對被測樣品進行橢偏分析。在測量過程中沒有任何需要轉動或者調制的光學部件，并且可以在單次測量中獲得完整的、高分辨率的光譜橢偏數據。通常可每秒采集200個光譜橢偏數據。通過配備同步的X/Y二維自動樣品臺可以在數分鐘內測量獲得大面積樣品的薄膜厚度分布圖。 由于參考補償系統仍然是橢偏儀原理，因此需要將測量數據擬合到光學模型，以獲得光學參數，如折射率和薄膜厚度。為了實現高速的數據處理速度，實現了查找表擬合。在測量之前，將計算一個查找表。然后可以實時且高分辨率地擬合測量數據。

主要功能：

• “單次"參比光譜橢偏測量

• 每秒200個全光譜橢偏數據

• 用于評估薄膜厚度的實時數據處理

• 光斑尺寸：50 x 100um（入射角=60°）的微光斑

• 薄膜厚度測量范圍：<1nm~10um

• 光譜范圍：450–900 nm

應用：

• 晶圓檢測

• 污染物檢測

• 超薄膜和中間層的厚度

• 透明基板上的薄層

  
  

  
  

參考光譜橢偏儀薄膜和表面的快速檢測