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RSE是一種特殊類型的橢偏儀，它通過將參比樣品和被測樣品進行比較，測量它們之間的差異從而對被測樣品進行橢偏分析。在測量過程中沒有任何需要轉動或者調制的光學部件，并且可以在單次測量中獲得完整的、高分辨率的光譜橢偏數據。通常可每秒采集200個光譜數據。通過配備同步的XY二維自動樣品臺可以在數分鐘內測量獲得大面積樣品的薄膜厚度分布圖。參考光譜橢偏儀薄膜和表面的快速檢測
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